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愛發科NRL180A干式真空泵維修NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵特長NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動優良的耐腐蝕性標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。選購件可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。用途?活性氣體（CV
