XDS46i愛德華真空渦旋泵維修
XDS35i愛德華渦旋泵
消音器備件包 A50597801
XDS 軸承更換套件 A73001802
XDS端部密封套件 A73001801
渦旋泵出現噪音,溫度異常,真空度偏低就要請專業的人來維修
Edwards XDS46i 干式渦旋泵
軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離,以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染,從而延長軸承使用壽命。
智能電機驅動
意味著全程穩定的性能、泵過載保護和遠程啟動/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽,包括高達 240 gh-1 的水蒸汽
簡便的單側渦旋設計
可在數分鐘內完成維護,以降低擁有成本并大程度延長正常運行時間。
更進一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20% 的峰值電力需求,這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室,且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25%,這也有助于提高應用循環頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領域,XDS 干式渦旋泵已成為行業標準,在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。
XDS46i愛德華真空渦旋泵維修