愛德華XDS35i渦旋泵維修問題
XDS35i愛德華渦旋泵一般使用在半導體行業,實驗室,一般清潔泵送應用,電子掃描顯微鏡-SEM,射束線和高能物理,前級渦輪泵,超高速離心機,覆層,低溫學,脫氣/硫化-油,環氧樹脂,蒸餾/萃取/過濾,冷凍干燥,熔爐,凝膠體干燥,實驗室工作臺上真空,激光、氣體回收和再循環,氦檢漏儀,負載鎖和傳輸腔,稀有氣體再循環,稀有氣體回收,冷凍制造,研發,旋轉離心蒸發器,SEM/FIB(離子束維修),溶劑回收,表面科學儀器。
渦旋泵使用久了,會出現真空度不夠,噪音偏大,溫度異常,卡死等問題。具體情況就要具體分析。若只是單純的真空度不夠,沒有出現噪音偏大等其他問題。一般就是更換密封線,O型圈。必須拆開看以后,看下內部磨盤是否有磨損。沒有磨損,就把線槽,內外磨盤清理干凈。更換原裝正品的密封包。
若是出現噪音大或者卡死,這個一定要用專業的工具拆解出軸承部位的。更換原裝正品的軸承包和密封包。做以上維修,一定要專業的維修工程師來拆解和安裝。不懂得門外漢一定要私自去拆解和安裝。否則弄不好會把渦旋泵搞報廢。
Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵
Edwards 干式渦旋泵為各種應用提供成熟的干式清潔真空解決方案。
當需要無油抽空時,渦旋泵是旋片泵的替代品。
Edwards XDS35i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i 干式渦旋泵
軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離,以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染,從而延長軸承使用壽命。
智能電機驅動
意味著全程穩定的性能、泵過載保護和遠程啟動/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽,包括高達 240 gh-1 的水蒸汽
簡便的單側渦旋設計
可在數分鐘內完成維護,以降低擁有成本并最大程度延長正常運行時間。
更進一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20% 的峰值電力需求,這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室,且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25%,這也有助于提高應用循環頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領域,XDS35i愛德華渦旋泵已成為行業標準,在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。
現在,結合專利的雙啟動渦旋形式技術和旁通閥,Edwards 得以提供 XDS35i 增強型系列泵,以補充我們原有的產品線。